Kas yra Vaflė?

Plokštelė reiškia silicio plokštelę, naudojamą silicio puslaidininkių grandinėms gaminti, o jo pradinė medžiaga yra silicis. Ištirpinus didelio grynumo polisilicį, įpilama silicio kristalų sėklų, o po to lėtai ištraukiama, kad susidarytų cilindrinis monokristalinis silicis. Po šlifavimo, poliravimo ir pjaustymo silicio kristalo strypas sudaro silicio plokštelę, tai yra, plokštelę. Buitinės plokštelių gamybos linijos daugiausia yra 8 colių ir 12 colių.
Pagrindiniai plokštelių apdorojimo būdai yra lakštų apdorojimas ir paketinis apdorojimas, tai yra vienos ar kelių plokštelių apdorojimas vienu metu. Kadangi puslaidininkių savybių dydis vis mažėja, o apdorojimo ir matavimo įranga tampa vis tobulesnė, plokštelių apdorojime atsirado naujų duomenų charakteristikų. Tuo pačiu metu sumažėjus elementų dydžiui, didėja dalelių skaičiaus ore įtaka plokštelės kokybei ir patikimumui po apdorojimo plokštelių apdorojimo metu, o gerėjant švarai, dalelių skaičius taip pat turi naujų duomenų charakteristikų. .